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本发明提供了一种用于70～100nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。本发明采用“亚四分之一波长”设计思想，与非周期多层膜技术相结合，实现70～100nm的真空紫外波段，能量连续可调的宽带的偏振多层膜。横向梯度多层...
该专利属于苏州江泓电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州江泓电子科技有限公司授权不得商用。

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