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半导体元件测试方法与半导体元件测试系统技术方案
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文档序号:24797514
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本公开提供一种用于预测PMOS元件NBTI寿命的半导体元件测试方法与半导体元件测试系统。半导体元件测试方法包括:提供多个相同的PMOS元件;在预设温度下对第n个所述PMOS元件的栅极多次施加时长不同的第n个预设负偏压,以获取多个预设负偏压下...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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