温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种靶材回收装置及回收方法，所述靶材回收装置包括：槽体；温度控制系统，所述温度控制系统位于所述槽体外表面上，控制所述槽体内温度。提供槽体后，在所述槽体外表面上设置温度控制系统，控制所述槽体内部温度。通过所述温度控制系统控制所述槽体内部的温度...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。