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一种控制电路与体声波(BAW)滤波器的集成方法和集成结构。该集成方法包括:提供基底,基底形成有控制电路;在基底上形成第一空腔;提供BAW谐振结构,BAW谐振结构的表面设有输入电极、输出电极,BAW谐振结构包括第二空腔;将BAW谐振结构的表面...该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。
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一种控制电路与体声波(BAW)滤波器的集成方法和集成结构。该集成方法包括:提供基底,基底形成有控制电路;在基底上形成第一空腔;提供BAW谐振结构,BAW谐振结构的表面设有输入电极、输出电极,BAW谐振结构包括第二空腔;将BAW谐振结构的表面...