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混合栅p-GaN增强型氮化镓基晶体管结构及制作方法技术
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文档序号:24761211
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本公开提供了一种混合栅p‑GaN增强型氮化镓基晶体管结构及制作方法,其混合栅p‑GaN增强型氮化镓基晶体管结构自下而上顺次包括:衬底、成核层、高阻层、高迁移率层和势垒层;还包括:p型GaN帽层、源极和漏极,分别制作在所述势垒层上面;栅绝缘介...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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