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提供了铝化合物以及使用该铝化合物制造半导体器件的方法。所述铝化合物可以由式1表示。[式1]...
该专利属于三星电子株式会社;株式会社ADEKA所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社;株式会社ADEKA授权不得商用。

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