下载一种集成有空腔传感器的IC封装基板的技术资料

文档序号:24737863

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本实用新型涉及一种集成有空腔传感器的IC封装基板,其包括无铜基板以及覆铜叠板,其中,在该无铜基板中镂空出若干空腔,该覆铜叠板包括板体以及若干叠板,任意相邻的该叠板之间形成一间隔区,在一块该覆铜叠板的该间隔区中固定设置传感器芯片,并形成下盖层...
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