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光刻系统带宽控制技术方案
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文档序号:24725245
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用于控制能够以多个重复率中的任一个进行操作的激光器中的激光激发定时并因此控制带宽的方法和设备。在一个实施例中,通过使用快速带宽致动器在某个重复率下的稳态值相对于重复率的前馈模型来减少或防止由于重复率的改变引起的带宽瞬变。该前馈模型可以通过执...
该专利属于西默有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西默有限公司授权不得商用。
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