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三维半导体存储器件制造技术
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文档序号:24713265
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提供了三维(3D)半导体存储器件。一种3D半导体存储器件包括衬底上的电极结构。电极结构包括堆叠在衬底上的栅电极。栅电极包括电极焊盘区。该3D半导体存储器件包括穿透一个电极焊盘区的虚设竖直结构。虚设竖直结构包括虚设竖直半导体图案和从虚设竖直半...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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