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本发明提供一种死锁判断方法及半导体设备，该死锁判断方法包括：新有向图构造步骤，将支持单步传输的有向图中同一工艺步骤对应的R个资源合并为一个，并更改每步工艺步骤对应的总容量，且使C...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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