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本公开提供一种多层结构的制备方法，包括下列步骤。将具有一图案层的一基底设置在一反应器中。将一第一金属前驱物引入该反应器中。从该反应器清除一第一过量金属前驱物。将一第一反应物引入该反应器中，其中该第一反应物与该第一金属前驱物相互反应以在该图案...
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