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本发明公开了一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器,属于微机电系统领域，包括第一固支梁、第二固支梁、上耦合电极Ⅰ、上耦合电极Ⅱ、下耦合电极Ⅰ、下耦合电极Ⅱ、固定电极Ⅰ、固定电极Ⅱ、耦合电压源和驱动电压源；第一固支梁两端分别通过固定端Ⅰ...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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