一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器,属于微机电系统领域，包括第一固支梁、第二固支梁、上耦合电极Ⅰ、上耦合电极Ⅱ、下耦合电极Ⅰ、下耦合电极Ⅱ、固定电极Ⅰ、固定电极Ⅱ、耦合电压源和驱动电压源；第一固支梁两端分别通过固定端Ⅰ和固定端Ⅱ固定；第二固支梁两端分别通过固定端Ⅲ和固定端Ⅳ固定；上耦合电极Ⅰ和上耦合电极Ⅱ固定在第一固支梁的下表面两端；下耦合电极Ⅰ和下耦合电极Ⅱ固定在第二固支梁的上表面两端；第一固支梁的下表面和第二固支梁的上表面之间施加耦合电压源实现相对应的静电耦合连接；固定电极Ⅰ和固定电极Ⅱ分别与驱动电压源相连接；固定电极Ⅰ和固定电极Ⅱ固定在第二固支梁的下方,该发明专利技术结构简单，驱动方式易于调节，无需进行任何的结构优化，具有工艺简单，构型稳定易于加工等优点，因而可广泛应用在各个方面。

【技术实现步骤摘要】
一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器
本专利技术涉及微机电系统领域尤其涉及一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器。
技术介绍
MEMS谐振传感器由于尺寸小，功耗小，并且高效可靠，因此在微质量传感器上得到了广泛的应用，包括在生物分子(DNA、细胞、细菌及病毒等)的识别与检测、微小颗粒探测以及液体、气体成分与浓度的检测等方面。虽然，降低传感器的尺寸能够增加灵敏度，但是由于制造工艺的限制所以尺寸不能够无限的减小，如何在不改变结构尺寸的条件下提高微质量传感器的灵敏度引起了众多学者的关注。Lochon等人在“Analternativesolutiontoimprovesensitivityofresonantmicrocantileverchemicalsensors:comparisonbetweenusinghigh-ordermodesandreducingdimensions”(SensorsandActuatorsB:Chemical,Volume108,Issues1–2,22July2005,Pages979-985)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器,其特征在于:包括，/n第一固支梁、第二固支梁、上耦合电极Ⅰ、上耦合电极Ⅱ、下耦合电极Ⅰ、下耦合电极Ⅱ、固定电极Ⅰ、固定电极Ⅱ、耦合电压源和驱动电压源；/n所述第一固支梁两端分别通过固定端Ⅰ和固定端Ⅱ固定；/n所述第二固支梁两端分别通过固定端Ⅲ和固定端Ⅳ固定；/n所述上耦合电极Ⅰ和所述上耦合电极Ⅱ固定在所述第一固支梁的下表面两端；/n所述下耦合电极Ⅰ和所述下耦合电极Ⅱ固定在所述第二固支梁的上表面两端；/n所述第一固支梁的下表面和所述第二固支梁的上表面之间施加所述耦合电压源实现相对应的静电耦合连接；/n所述固定电极Ⅰ和所述固定电极Ⅱ分别与所述驱动电...

【技术特征摘要】
1.一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器,其特征在于:包括，
第一固支梁、第二固支梁、上耦合电极Ⅰ、上耦合电极Ⅱ、下耦合电极Ⅰ、下耦合电极Ⅱ、固定电极Ⅰ、固定电极Ⅱ、耦合电压源和驱动电压源；
所述第一固支梁两端分别通过固定端Ⅰ和固定端Ⅱ固定；
所述第二固支梁两端分别通过固定端Ⅲ和固定端Ⅳ固定；
所述上耦合电极Ⅰ和所述上耦合电极Ⅱ固定在所述第一固支梁的下表面两端；
所述下耦合电极Ⅰ和所述下耦合电极Ⅱ固定在所述第二固支梁的上表面两端；
所述第一固支梁的下表面和所述第二固支梁的上表面之间施加所述耦合电压源实现相对应的静电耦合连接；
所述固定电极Ⅰ和所述固定电极Ⅱ分别与所述驱动电压源相连接；
所述固定电极Ⅰ和所述固定电极Ⅱ固定在所述第二固支梁的下方。


2.根据权利要求1所述的一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器,其特征还在于:所述第一固支梁的长度和所述第二固支梁的长度相等。


3.根据权利要求1所述的一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器,其特征还在于:所述第一固支梁宽度和所述第二固支梁的宽度相等。


4.根据权利要求1所述一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕明，赵剑，刘蓬勃，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21