下载减少两步沉积工艺中的结电阻变化的技术资料

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一种减少使用两步沉积工艺制造的量子信息处理器件中的结的结电阻变化的方法。在一个方面,一种方法包括:提供电介质基板(208);在电介质基板上形成第一抗蚀剂层(210);在第一抗蚀剂层上形成第二抗蚀剂层(212);以及在第二抗蚀剂层上形成第三抗...
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