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三维存储器及其制备方法、电子设备技术
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文档序号:24690864
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本申请提供了三维存储器及其制备方法、电子设备。其中,制备方法包括提供衬底,在衬底的一侧依次形成牺牲层与叠层结构。形成贯穿叠层结构与牺牲层的多个NAND串。形成贯穿叠层结构的虚拟栅缝隙与多个栅缝隙,定义多个栅缝隙的排列方向为第一方向,虚拟栅缝...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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