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本发明提供一种硅片背封层的边缘去除装置及边缘去除方法，所述边缘去除装置包括：夹具，包括第一夹板和第二夹板，第一夹板和第二夹板之间形成夹持空间；放置于夹持空间内的底膜和至少一个功能膜，底膜贴设于第二夹板上，功能膜包括第一膜层和第二膜层，第一膜...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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