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本申请公开了一种清洗刷预清洗系统，包括用于容纳清洗刷的预清洗模组，所述预清洗模组的上部设置有风机过滤模组，所述预清洗模组的下部设置有用于为清洗刷旋转和晶圆旋转提供电能的电机模组，所述电机模组的下部设置有液体输送模组。利用本申请提供的上述清洗...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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