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本发明实施例公开了一种晶圆翘曲度测量装置及方法，其中，所述装置包括：支撑部件，用于承载晶圆；导电部件，用于向所述晶圆传导电荷；力学传感部件，包括带电结构，所述带电结构与所述支撑部件间隔一定距离设置，所述力学传感部件用于感测所述带电结构与所述...
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