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本申请公开了稀土氧化物基单片式腔室材料。一种固体烧结陶瓷制品可包括固溶体，所述固溶体包含：约30摩尔％至约60摩尔％的浓度的Y...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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