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本实用新型涉及一种真空气浮轴承及其性能检测装置，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本实用新型的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该检测装置包括真空室；...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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