一种真空气浮轴承及其性能检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种真空气浮轴承及其性能检测装置，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本实用新型专利技术的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该检测装置包括真空室；分别与真空室连接的多级抽气管路、抽真空管路、进气管路、氮气管路，真空室还连接一真空室真空计，该性能检测装置能够准确的评估该真空气浮轴承是否符合实际真空环境的使用需求，还可判断该真空气浮轴承工作时对真空环境的影响。

A vacuum air bearing and its performance testing device

【技术实现步骤摘要】
一种真空气浮轴承及其性能检测装置
本技术涉及精密设备性能检测领域，具体而言，涉及一种用于真空环境中的差分抽气式气浮轴承、及其性能检测装置和检测方法。
技术介绍
在光刻机设备中，工件台负责承载晶圆运动进行曝光。为了获得极高的运动精度和定位精度，尤其是在极紫外光刻机中，工件台的运动精度要求达到1nm左右，所以工件台以及与之相关联的底部框架等结构对机械振动的要求相当严格，因此在一些会发生相对运动的工件之间常常采用气浮轴承作为运动部件的支撑元件。气浮轴承使用压缩气体作为润滑剂，可以极大限度的降低摩擦系数，从而有效的降低因工件之间相互摩擦产生的机械振动，并能确保工件相对运动的高精度、高速度和高热稳定性。气浮轴承工作时需要外界提供源源不断的压缩气体，在轴承面和工件滑动面之间形成一定厚度的具有一定刚度的气膜，将轴承与工件隔离以达到润滑的效果。在极紫外光刻机中，工件台、掩模台等运动部件都是集成在真空腔室内的，这种情况下如果使用普通的气浮轴承，这些气体最后将从气浮轴承的边沿扩散到周围环境，将会破坏真空环境，影响光刻机正常工作，因此需要采用特殊设计的的真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空气浮轴承，该气浮轴承(101)包括进气口(102)，压缩气体从进气口(102)进入气浮轴承(101)内部，在轴承气浮面(109)与工件滑动面之间形成一定厚度的压力气膜；其特征在于：该气浮轴承(101)还包括至少一级抽气通道(110、111、112)，该至少一级抽气通道(110、111、112)沿轴承气浮面(109)的外部呈周向环绕向外设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空气浮轴承，该气浮轴承(101)包括进气口(102)，压缩气体从进气口(102)进入气浮轴承(101)内部，在轴承气浮面(109)与工件滑动面之间形成一定厚度的压力气膜；其特征在于：该气浮轴承(101)还包括至少一级抽气通道(110、111、112)，该至少一级抽气通道(110、111、112)沿轴承气浮面(109)的外部呈周向环绕向外设置。


2.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：抽气通道(110、111、112)为抽气沟槽，各级抽气沟槽的槽深相等或不相等。


3.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：气浮轴承(101)的形状为正方形、长方形、圆形或三角形。


4.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：抽气通道(110、111、112)为圆环状、三角形或矩形。


5.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：各级抽气通道(110、111、112)同心且等间隔或不等间隔排布。


6.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：真空气浮轴承(101)的各级抽气通道(110、111、112)由侧壁(107、108、106)间隔开，侧壁(107、108、106)的上表面与气浮轴承(101)的轴承气浮面(109)共面。


7.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：每级抽气通道(110、111、112)都有单独的至少一个抽气孔(103、104、105)，该至少一个抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：成荣，朱煜，杨开明，刘相波，王利臣，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：新型
国别省市：北京;11