下载一种磷化铟半导体激光晶圆及磷化铟半导体激光芯片的技术资料

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本实用新型公开了一种磷化铟半导体激光晶圆及磷化铟半导体激光芯片,磷化铟半导体激光晶圆包括二氧化硅电介质膜层、N型衬底以及生长其上端面的外延结构,将覆盖在磷化铟半导体激光晶圆表面位于解理面区域的二氧化硅电介质膜层去除,通过解理面区域对磷化铟半...
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