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本发明提供了一种晶圆卡盘。晶圆卡盘包括：盘体，盘体具有用于安装晶圆的安装区域；遮挡凸起，设置在盘体上且位于安装区域的外侧，待晶圆安装在安装区域内时，遮挡凸起远离盘体的上表面高于晶圆朝向盘体的下表面；或遮挡凸起远离盘体的上表面与晶圆朝向盘体的...
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