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本发明提供一种抛光垫的修整轮及修整装置，所述修整轮包括：圆形基板，所述基板上开设有至少一个安装孔；固定于所述安装孔内的修整环，所述修整环的修整面间隔设有若干螺旋条纹。根据本发明实施例的修整轮，通过在基板上安装固定修整环，而修整环的修整面上间...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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