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本发明公开了一种石墨舟防粉尘产生的预镀膜方法，包括以下步骤：步骤1，将石墨舟进行清洗及烘干；步骤2，将清洗干净的硅片作为假片，装载到石墨舟上的相应位置；步骤3，将石墨舟置于镀膜设备中，在石墨舟的表面沉积出非晶硅薄膜，作为非晶硅薄膜的结构缓冲...
该专利属于苏州拓升智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州拓升智能装备有限公司授权不得商用。

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