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本申请实施例提供了一种半导体加工设备及其磁控管机构。该磁控管机构应用于半导体加工设备，其包括背板、外磁极、内磁极及驱动装置；外磁极设置于背板的底面上，并且在底面上围成一容置空间；内磁极可移动地设置于背板的底面上，并且位于容置空间内；驱动装置...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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