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本公开内容的实施方式大致关于用于在整合式基板处理系统中调度基板处理程序的方法、系统和非暂时性计算机可读取介质。客户端装置将处理程序分配给待处理的一批基板中的每个基板。客户端装置针对整合式基板处理系统中的每个处理腔室将处理腔室分配给处理程序中...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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