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用于半导体检查的条带选择制造技术
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下载用于半导体检查的条带选择的技术资料
文档序号:24597838
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通过半导体检查系统执行半导体检查方法。在所述方法中,接收指定跨半导体裸片的条带以用于检查的用户输入。所述条带的宽度小于所述半导体裸片的宽度并且对应于所述半导体检查系统的视场。基于所述用户输入,检查所述半导体裸片的所述条带。处理来自检查所述条...
该专利属于科磊股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科磊股份有限公司授权不得商用。
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