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用于估计多个数据集中的至少一个数据集的未知值的方法和设备，每个数据集包括指示由制作于衬底中或衬底上的一个或更多个特征衍射和/或反射和/或散射的辐射的多个值，其中所述多个数据集包括至少一个已知值，和其中所述多个数据集中的至少一个数据集包括未知...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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