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一种包括金属硅氧化物层的表膜。还公开一种表膜，该表膜包括钼层、钌层和氮氧化硅层，其中，钼层设置在钌层和氮氧化硅层之间。还公开了：一种制造用于光刻设备的表膜的方法，该方法包括提供金属硅氧化物层；一种光刻组件(LA)包括表膜(15)，该表膜包括...
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