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本实用新型提供一种工艺盘组件，包括工艺盘和工艺盘转轴，还包括驱动轴和驱动衬套，驱动轴包括驱动轴体部和驱动连接部，驱动衬套套设在驱动连接部外部，驱动衬套部分设置在工艺盘转轴底端的安装孔中，工艺盘转轴通过驱动衬套、驱动连接部与驱动轴体部连接，驱...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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