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垂直半导体器件制造技术
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下载垂直半导体器件的技术资料
文档序号:24584422
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本公开提供了垂直半导体器件。一种垂直半导体器件包括:导电图案结构,在第一方向上延伸;沟槽,在交叉第一方向的第二方向上的两个相邻的导电图案结构之间;存储层,设置在沟槽的侧壁上;第一绝缘层,设置在沟槽中并在第一方向上彼此间隔开;沟道图案,设置在...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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