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包括沟道结构的半导体器件制造技术
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下载包括沟道结构的半导体器件的技术资料
文档序号:24584410
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本公开提供了包括沟道结构的半导体器件。一种半导体器件可以包括基板和堆叠结构,在该堆叠结构中多个绝缘层和多个互连层交替地堆叠在基板上。隔离区域可以在第一方向上与堆叠结构交叉。多个第一结构可以在垂直于第一方向的第二方向上延伸到堆叠结构中。多个第...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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