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包括接触虚设沟道结构的接触结构的半导体器件制造技术
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下载包括接触虚设沟道结构的接触结构的半导体器件的技术资料
文档序号:24584405
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提供一种半导体器件。该半导体器件包括基板和堆叠结构,在该堆叠结构中多个绝缘层和多个电极层交替地堆叠在基板上。半导体器件包括穿过堆叠结构的多个虚设沟道结构。此外,半导体器件包括接触结构,该接触结构与所述多个虚设沟道结构中的与其相邻的至少一个接...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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