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具有磨料在其中的打印的化学机械抛光垫制造技术
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下载具有磨料在其中的打印的化学机械抛光垫的技术资料
文档序号:24582433
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一种制造抛光垫的抛光层的方法包括以下步骤:确定将嵌入在所述抛光层的聚合物母体内的颗粒的期望的分布。利用3D打印机相继地沉积所述聚合物母体的多个层,所述聚合物母体的所述多个层中的每一个层通过从喷嘴喷出聚合物母体前体来沉积。根据所述期望的分布、...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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