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本发明公开了一种基于IAP的仿真模拟方法、装置以及晶圆清洗设备，方法包括：通过逻辑层接收用于控制硬件机台的功能指令，并将功能指令下发至驱动层；通过驱动层判断当前是否处于仿真模式；在当前处于仿真模式时，阻断驱动层与硬件机台之间的通讯，并将功能...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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