基于IAP的仿真模拟方法、装置以及晶圆清洗设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于IAP的仿真模拟方法、装置以及晶圆清洗设备，方法包括：通过逻辑层接收用于控制硬件机台的功能指令，并将功能指令下发至驱动层；通过驱动层判断当前是否处于仿真模式；在当前处于仿真模式时，阻断驱动层与硬件机台之间的通讯，并将功能指令下发至用于模拟硬件机台的仿真环境中，模拟硬件机台执行功能指令；通过驱动层、逻辑层返回功能指令的仿真结果；其中，仿真环境是预置的，仿真环境的配置文件包括硬件机台的功能指令与对应IO点位通道的绑定关系，每个IO点位通道均设置有IO初始值。能够在仿真测试阶段还原实际机台的工作场景并在仿真模式下展示硬件机台真实的点位通道变化，以提供可靠的仿真测试结果。

IAP based simulation method, device and wafer cleaning equipment

【技术实现步骤摘要】
基于IAP的仿真模拟方法、装置以及晶圆清洗设备
本专利技术涉及半导体设备
，更具体地，涉及一种基于IAP的仿真模拟方法、装置以及应用该基于IAP的仿真模拟装置的晶圆清洗设备。
技术介绍
当前半导体设备依托于IAP(Industrialautomationplatform，工业自动化平台)机制，其软件控制系统可分为上位机软件软件与下位机软件软件，其中上位机软件软件主要作用是提供GUI界面，数据存储以及控制下位机软件软件，而下位机软件软件主要作用是负责接收上位机软件发送的指令，控制实际的机台硬件执行相应动作，同时反馈下位机软件及硬件信息给上位机软件。下位机软件软件按照层次结构划分主要可以分为逻辑层和驱动层，其中逻辑层包含所有的基本功能、组合功能、报警以及互锁等逻辑代码，而驱动层是连接逻辑层与硬件设备IO点，下位机软件通过驱动层进行硬件设备的交互。因此，当下位机软件软件没有连接硬件设备时，就必须切换为仿真模式，否则会出现异常。当前仿真模式的测试仅仅是指令到达驱动层后直接返回，该场景仅仅能测试上下位机软件是否通讯正常，功能代码是否正常触发(仅仅是测试到浅层的功能，具体涉及硬件交互的代码块无法正常让其执行)，但并不能还原实际的机台场景以及反馈硬件机台实际相关的IO点位变化，导致经常出现当前软件能够顺利的通过仿真测试阶段，但在硬件机台实际工作中却频繁报错，并且往往出现了相当多的在仿真测试阶段中并未出现的错误。因此需要提出一种仿真模拟方法，能够在仿真测试阶段还原实际机台的工作场景并在仿真模式下展示硬件机台真实的点位通道变化，以提供可靠的仿真测试结果。
技术实现思路
本专利技术的目的是提出一种基于IAP的仿真模拟方法、装置以及晶圆清洗设备，实现在仿真测试阶段还原实际硬件机台工作场景，在仿真模式下展示硬件机台实际的点位通道变化，提供可靠的仿真测试结果。为实现上述目的，本专利技术提出一种基于IAP的仿真模拟方法，包括：通过逻辑层接收用于控制硬件机台的功能指令，并将所述功能指令下发至驱动层；通过所述驱动层判断当前是否处于仿真模式；在当前处于所述仿真模式时，阻断所述驱动层与所述硬件机台之间的通讯，并将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令；通过所述驱动层、所述逻辑层返回所述功能指令的仿真结果；其中，所述仿真环境是预置的，所述仿真环境的配置文件包括所述硬件机台的功能指令与对应IO点位通道的绑定关系，每个所述IO点位通道均设置有IO初始值。可选地，预置所述仿真环境包括：将预先编译的仿真动态链接库文件导入IAP仿真项目中生成所述仿真环境，并将所述仿真环境的配置文件添加到所述IAP仿真项目的配置文件中。可选地，配置所述仿真环境的配置文件包括以下至少之一：将每个基本功能指令与所述仿真环境中一个DI点位通道绑定并设定每个所述DI点位通道的IO初始值；将每个PMC组合功能指令与所述仿真环境中的多个DI点位通道绑定并设定每个所述DI点位通道的IO初始值；将每个TMC组合功能指令与所述仿真环境中的多个DI点位通道绑定并设定每个所述DI点位通道的IO初始值；将每个AO量功能指令与所述仿真环境中的一个AI点位通道绑定并设定每个所述AI点位通道的IO初始值。可选地，所述将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令包括：当所述功能指令为所述基本功能指令或所述AO量功能指令时，直接将所述基本功能指令或所述AO量功能指令下发到所述仿真环境，所述仿真环境中的仿真模块根据所述配置文件中相应的DI点位通道或AI点位通道的所述IO初始值模拟执行所述基本功能指令或所述AO量功能指令。可选地，所述将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令包括：当所述功能指令为所述PMC组合功能指令或所述TMC组合功能指令时，首先调用与所述PMC组合功能指令或所述TMC组合功能指令对应的执行逻辑，并将所述PMC组合功能指令或所述TMC组合功能指令以及所述执行逻辑下发到所述仿真环境，调用所述仿真环境提供的设置IO点位通道变化时刻的方法，根据所述执行逻辑按变化时刻先后顺序对所述PMC组合功能指令或所述TMC组合功能指令绑定的每一个DI点位通道设置变化的时刻，同时根据所述配置文件中相应的每个DI点位通道的所述IO初始值模拟执行所述PMC组合功能指令或所述TMC组合功能指令。可选地，所述调用所述仿真环境提供的设置IO点位通道变化时刻的方法，包括：调用setChangeTime()方法。可选地，所述阻断所述驱动层与硬件机台之间的通讯包括：在所述驱动层中声明以所述仿真环境为实例，通过所述IAP提供的仿真方法阻断所述驱动层与所述硬件机台的通讯。本专利技术还提出一种基于IAP的仿真模拟装置，包括：文件解析模块，用于解析模拟硬件机台的仿真环境的配置文件，并根据所述配置文件绑定所述硬件机台的功能指令与对应IO点位通道以及设定每个所述IO点位通道的IO初始值；仿真模块，用于建立所述仿真环境，通过逻辑层接收用于控制所述硬件机台的功能指令，并将所述功能指令下发至驱动层；通过所述驱动层判断当前是否处于仿真模式；在当前处于所述仿真模式时，阻断所述驱动层与硬件机台之间的通讯，并将所述功能指令下发至所述仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令；通过所述驱动层、所述逻辑层返回所述功能指令的仿真结果。可选地，还包括：日志模块，用于记录所述仿真模式下所述功能指令的收发和所述IO点位通道的变化。本专利技术还提出一种基于IAP的晶圆清洗设备，包括上述的基于IAP的仿真模拟装置。本专利技术的有益效果在于：本专利技术基于IAP机制模拟真实硬件机台工作，通过预先将仿真环境的配置文件绑定功能命令与仿真模拟机台的IO点位通道并设置参数值，当驱动层判断当前处于仿真模式时，阻断驱动层与硬件机台之间的通讯，并将功能指令下发至用于模拟硬件机台的仿真环境中，模拟硬件机台执行功能指令，实现在仿真测试阶段还原实际硬件机台的工作场景，在仿真模式下展示硬件机台实际的点位通道变化，提供可靠的仿真测试结果。本专利技术的装置具有其它的特性和优点，这些特性和优点从并入本文中的附图和随后的具体实施方式中将是显而易见的，或者将在并入本文中的附图和随后的具体实施方式中进行详细陈述，这些附图和具体实施方式共同用于解释本专利技术的特定原理。附图说明通过结合附图对本专利技术示例性实施例进行更详细的描述，本专利技术的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，在本专利技术示例性实施例中，相同的参考标号通常代表相同部件。图1示出了根据本专利技术的一种基于IAP的仿真模拟方法的步骤图。图2示出了根据本专利技术的一种基于IAP的仿真模拟方法的原理图。图3示出了根据本专利技术的一个实施例的一种基于IAP的仿真模拟方法中驱动层向仿真环本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，包括：/n通过逻辑层接收用于控制硬件机台的功能指令，并将所述功能指令下发至驱动层；/n通过所述驱动层判断当前是否处于仿真模式；/n在当前处于所述仿真模式时，阻断所述驱动层与所述硬件机台之间的通讯，并将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令；/n通过所述驱动层、所述逻辑层返回所述功能指令的仿真结果；/n其中，所述仿真环境是预置的，所述仿真环境的配置文件包括所述硬件机台的功能指令与对应IO点位通道的绑定关系，每个所述IO点位通道均设置有IO初始值。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，包括：
通过逻辑层接收用于控制硬件机台的功能指令，并将所述功能指令下发至驱动层；
通过所述驱动层判断当前是否处于仿真模式；
在当前处于所述仿真模式时，阻断所述驱动层与所述硬件机台之间的通讯，并将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令；
通过所述驱动层、所述逻辑层返回所述功能指令的仿真结果；
其中，所述仿真环境是预置的，所述仿真环境的配置文件包括所述硬件机台的功能指令与对应IO点位通道的绑定关系，每个所述IO点位通道均设置有IO初始值。


2.根据权利要求1所述的基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，预置所述仿真环境包括：
将预先编译的仿真动态链接库文件导入IAP仿真项目中生成所述仿真环境，并将所述仿真环境的配置文件添加到所述IAP仿真项目的配置文件中。


3.根据权利要求1所述的基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，配置所述仿真环境的配置文件包括以下至少之一：
将每个基本功能指令与所述仿真环境中一个DI点位通道绑定并设定每个所述DI点位通道的IO初始值；
将每个PMC组合功能指令与所述仿真环境中的多个DI点位通道绑定并设定每个所述DI点位通道的IO初始值；
将每个TMC组合功能指令与所述仿真环境中的多个DI点位通道绑定并设定每个所述DI点位通道的IO初始值；
将每个AO量功能指令与所述仿真环境中的一个AI点位通道绑定并设定每个所述AI点位通道的IO初始值。


4.根据权利要求3所述的基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，所述将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令包括：
当所述功能指令为所述基本功能指令或所述AO量功能指令时，直接将所述基本功能指令或所述AO量功能指令下发到所述仿真环境，所述仿真环境中的仿真模块根据所述配置文件中相应的DI点位通道或AI点位通道的所述IO初始值模拟执行所述基本功能指令或所述AO量功能指令。


5.根据权利要求3所述的基于IAP的机仿真模拟方法，其特征在于，所述将所述功能指令下发至用...

【专利技术属性】
技术研发人员：王毅恒，郭训容，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11