【技术实现步骤摘要】
基于IAP的仿真模拟方法、装置以及晶圆清洗设备
本专利技术涉及半导体设备
，更具体地，涉及一种基于IAP的仿真模拟方法、装置以及应用该基于IAP的仿真模拟装置的晶圆清洗设备。
技术介绍
当前半导体设备依托于IAP(Industrialautomationplatform，工业自动化平台)机制，其软件控制系统可分为上位机软件软件与下位机软件软件，其中上位机软件软件主要作用是提供GUI界面，数据存储以及控制下位机软件软件，而下位机软件软件主要作用是负责接收上位机软件发送的指令，控制实际的机台硬件执行相应动作，同时反馈下位机软件及硬件信息给上位机软件。下位机软件软件按照层次结构划分主要可以分为逻辑层和驱动层，其中逻辑层包含所有的基本功能、组合功能、报警以及互锁等逻辑代码，而驱动层是连接逻辑层与硬件设备IO点，下位机软件通过驱动层进行硬件设备的交互。因此，当下位机软件软件没有连接硬件设备时，就必须切换为仿真模式，否则会出现异常。当前仿真模式的测试仅仅是指令到达驱动层后直接返回，该场景仅仅能测试上下位机软件是否通...
【技术保护点】
1.一种基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，包括：/n通过逻辑层接收用于控制硬件机台的功能指令，并将所述功能指令下发至驱动层；/n通过所述驱动层判断当前是否处于仿真模式；/n在当前处于所述仿真模式时，阻断所述驱动层与所述硬件机台之间的通讯，并将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令；/n通过所述驱动层、所述逻辑层返回所述功能指令的仿真结果；/n其中，所述仿真环境是预置的，所述仿真环境的配置文件包括所述硬件机台的功能指令与对应IO点位通道的绑定关系，每个所述IO点位通道均设置有IO初始值。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，包括：
通过逻辑层接收用于控制硬件机台的功能指令，并将所述功能指令下发至驱动层；
通过所述驱动层判断当前是否处于仿真模式；
在当前处于所述仿真模式时，阻断所述驱动层与所述硬件机台之间的通讯，并将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令；
通过所述驱动层、所述逻辑层返回所述功能指令的仿真结果；
其中，所述仿真环境是预置的，所述仿真环境的配置文件包括所述硬件机台的功能指令与对应IO点位通道的绑定关系，每个所述IO点位通道均设置有IO初始值。
2.根据权利要求1所述的基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，预置所述仿真环境包括：
将预先编译的仿真动态链接库文件导入IAP仿真项目中生成所述仿真环境，并将所述仿真环境的配置文件添加到所述IAP仿真项目的配置文件中。
3.根据权利要求1所述的基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，配置所述仿真环境的配置文件包括以下至少之一：
将每个基本功能指令与所述仿真环境中一个DI点位通道绑定并设定每个所述DI点位通道的IO初始值；
将每个PMC组合功能指令与所述仿真环境中的多个DI点位通道绑定并设定每个所述DI点位通道的IO初始值；
将每个TMC组合功能指令与所述仿真环境中的多个DI点位通道绑定并设定每个所述DI点位通道的IO初始值；
将每个AO量功能指令与所述仿真环境中的一个AI点位通道绑定并设定每个所述AI点位通道的IO初始值。
4.根据权利要求3所述的基于IAP的仿真模拟方法，其特征在于，所述将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令包括：
当所述功能指令为所述基本功能指令或所述AO量功能指令时，直接将所述基本功能指令或所述AO量功能指令下发到所述仿真环境，所述仿真环境中的仿真模块根据所述配置文件中相应的DI点位通道或AI点位通道的所述IO初始值模拟执行所述基本功能指令或所述AO量功能指令。
5.根据权利要求3所述的基于IAP的机仿真模拟方法，其特征在于，所述将所述功能指令下发至用...
【专利技术属性】
技术研发人员：王毅恒，郭训容，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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