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一种密封圈和工艺门，密封圈包括密封圈本体，密封圈本体顶部的部分区域整体向上凸起形成凸出部，凸出部的宽度小于密封圈本体的宽度。这种密封圈利用燕尾槽底部空间，增大密封圈底部宽度，当密封圈安装于燕尾槽内时，密封圈表面与燕尾槽的槽壁充分接触配合，严...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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