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激光加工方法包括：通过从参照表面侧向具有相对于第1波长的反射率已知的上述参照表面的参照物照射上述第1波长的测量用激光，从而作为上述测量用激光的在上述参照表面的反射光量而取得参照光量的第1工序；通过从第1表面侧向加工对象物照射上述测量用激光，...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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