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公开了一种在光刻系统中定性检测像差及确定数个像差形式的方法。此方法包括利用数字微型反射镜装置(digital micromirror device，DMD)图案来投射光学信号于可反射的基板上；在不同聚焦高度处(从高于至低于最佳焦点的范围)从...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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