专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
无锡华润上华科技有限公司
>
半导体器件制备方法技术
>技术资料下载
下载半导体器件制备方法的技术资料
文档序号:24502014
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请涉及一种半导体器件制备方法,包括:提供包括原胞区和非原胞区的半导体衬底,在非原胞区的半导体衬底上依次形成隔离介质层和具有第一导电类型掺杂的半导体层;以半导体层和隔离介质层为掩膜进行第一导电类型阱注入,在原胞区形成阱区;在阱区内形成工作...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。