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本发明公开了一种高分辨颗粒检测装置，属于颗粒检测的创新技术领域。该装置包括用于隔离人员和空气等扰动与污染的隔离罩；用于支撑和定位连接各分系统的支架；用于承载测试样片、调节样片与成像系统共轴、检测区域定位和大面积检测步进拼接的工件台系统；用于...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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