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本发明提供了一种化学气相淀积装置，包括反应器及多个进气管，所述进气管的进气端位于所述反应器外并连接一供气设备，出气端位于所述反应器内且能够伸长或缩短，至少两个所述进气管的出气端在竖直方向上位于所述反应器的不同位置处。通过调整所述进气管的出气...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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