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本发明涉及一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的最高点和最低点的垂直距离为5.75‑6mm；所述靶材表面的硬度为20‑30HV。本发明中，通过调整靶材表面的高度差及硬度，保证溅射强度，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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