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本发明涉及一种延长靶材寿命的处理方法，所述方法包括：将靶材依次进行抛光处理、滚花处理及喷砂处理。本发明中，通过对靶材表面的滚花及喷砂处理等，解决了靶材在镀膜过程的溅射异常(表皮脱落，尖端放电，金字塔脱落等)，从而延长靶材的使用寿命。...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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