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尖晶石相p型铁酸镍半导体氧化物薄膜的制备方法技术
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文档序号:24490375
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尖晶石相p型铁酸镍半导体氧化物薄膜的制备方法,本发明涉及一种p型半导体性氧化物薄膜的制备方法,制备方法:一、清洗衬底,得到清洗处理后的衬底;二、将清洗处理后的衬底放在托盘上,利用机械泵和分子泵将生长室抽至本底真空,衬底加热到530~580℃...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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