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本发明提供一种用于玻璃微粒沉积体制造装置的排气装置及排气方法，其有效地从来自反应容器的废气中回收硅氧烷，并且检测残留在废气中的硅氧烷的气体检测器的检测性能不会降低。排气装置(1)经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体G的...
该专利属于住友电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。

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