排气装置及排气方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于玻璃微粒沉积体制造装置的排气装置及排气方法，其有效地从来自反应容器的废气中回收硅氧烷，并且检测残留在废气中的硅氧烷的气体检测器的检测性能不会降低。排气装置(1)经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体G的反应容器(100)中排出至废气处理装置(200)，具有：原料回收部(10)，其设置于排气线路中，并且回收废气中所含的原料；去除机构(20)，其设置于排气线路中的原料回收部(10)的后段，并且除去废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测；以及气体检测器(30)，其利用经由去除机构(20)而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体来检测原料浓度。

Exhaust device and method

【技术实现步骤摘要】
排气装置及排气方法
本专利技术涉及用于玻璃微粒沉积体制造装置的排气装置及排气方法。
技术介绍
专利文献1记载了合成石英玻璃制造装置中的排气装置，并且记载了压力检测方法作为排气装置内的参数检测方法的一个例子。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本特开2008-137871号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]由于在从玻璃微粒沉积体制造装置的反应容器中排出的废气中含有残留的原料气体或玻璃微粒等，因而通过使用了静电除尘机等的清洁塔等废气处理装置来进行处理。作为玻璃微粒沉积体制造用的原料气体，通常使用四氯化硅，但是有时也使用硅氧烷。硅氧烷具有容易起火的性质，如果废气中存在有未反应的硅氧烷，则静电或由静电除尘机产生的火花等可能引起火焰，硅氧烷可能会起火。因此，期望的是，在检测到排气管中的废气的硅氧烷浓度在被送到废气处理装置之前就已经达到了爆炸极限浓度的基准值以上的情况下，实施停止原料气体的供给并停止设备等措施。然而，若在排气管内设置用于检测硅氧烷的气体检测器，则通常在排气管内的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种排气装置，其经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体的反应容器中排出至废气处理装置，具有：/n原料回收部，其设置于所述排气线路中，并且回收所述废气中所含的所述原料；/n去除机构，其设置于所述排气线路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测；以及/n气体检测器，其利用经由所述去除机构而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体来检测原料浓度。/n

【技术特征摘要】
20181204 JP 2018-2271141.一种排气装置，其经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体的反应容器中排出至废气处理装置，具有：
原料回收部，其设置于所述排气线路中，并且回收所述废气中所含的所述原料；
去除机构，其设置于所述排气线路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测；以及
气体检测器，其利用经由所述去除机构而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体来检测原料浓度。


2.根据权利要求1所述的排气装置，
所述去除机构具有：
玻璃微粒回收箱，其内部设置有玻璃微粒回收结构、并且配置有水分吸附剂；
多级过滤器，其设置在所述玻璃微粒回收箱的后段；以及
流量计，其设置在所述多级过滤器的后段，并且用于确认所述浓度检测用气体的流量。


3.根据权利要求2所述的排气装置，其具有恒温槽，
所述多级过滤器、所述流量计以...

【专利技术属性】
技术研发人员：守屋知巳，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP