排气装置及排气方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于玻璃微粒沉积体制造装置的排气装置及排气方法，其有效地从来自反应容器的废气中回收硅氧烷，并且检测残留在废气中的硅氧烷的气体检测器的检测性能不会降低。排气装置(1)经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体G的反应容器(100)中排出至废气处理装置(200)，具有：原料回收部(10)，其设置于排气线路中，并且回收废气中所含的原料；去除机构(20)，其设置于排气线路中的原料回收部(10)的后段，并且除去废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测；以及气体检测器(30)，其利用经由去除机构(20)而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体来检测原料浓度。

Exhaust device and method

【技术实现步骤摘要】
排气装置及排气方法
本专利技术涉及用于玻璃微粒沉积体制造装置的排气装置及排气方法。
技术介绍
专利文献1记载了合成石英玻璃制造装置中的排气装置，并且记载了压力检测方法作为排气装置内的参数检测方法的一个例子。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本特开2008-137871号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]由于在从玻璃微粒沉积体制造装置的反应容器中排出的废气中含有残留的原料气体或玻璃微粒等，因而通过使用了静电除尘机等的清洁塔等废气处理装置来进行处理。作为玻璃微粒沉积体制造用的原料气体，通常使用四氯化硅，但是有时也使用硅氧烷。硅氧烷具有容易起火的性质，如果废气中存在有未反应的硅氧烷，则静电或由静电除尘机产生的火花等可能引起火焰，硅氧烷可能会起火。因此，期望的是，在检测到排气管中的废气的硅氧烷浓度在被送到废气处理装置之前就已经达到了爆炸极限浓度的基准值以上的情况下，实施停止原料气体的供给并停止设备等措施。然而，若在排气管内设置用于检测硅氧烷的气体检测器，则通常在排气管内的环境下，玻璃微粒沉积在气体检测器中等，因而检测性能迅速降低。另外，由于在硅氧烷的氧化反应中生成水，因而当在气体检测器中发生结露时，检测性能也会降低。此外，期望的是，在将废气输送到废气处理装置之前从废气中回收硅氧烷以降低硅氧烷的浓度。因此，本专利技术的目的在于提供一种排气装置及排气方法，其中能够在有效地从由反应容器排出的废气中回收硅氧烷的同时准确地检测残留在废气中的硅氧烷的浓度。[用于解决问题的手段]根据本专利技术一个方面的排气装置，其经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体的反应容器中排出至废气处理装置，具有：原料回收部，其设置于所述排气线路中，并且回收所述废气中所含的所述原料；去除机构，其设置于所述排气线路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测；以及气体检测器，其利用经由所述去除机构而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体来检测原料浓度。另外，根据本专利技术一个方面的排气方法，其经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体的反应容器中排出至废气处理装置，包括：原料回收步骤，其中通过设置于所述排气线路中的原料回收部，从而回收所述废气中所含的所述原料；除去步骤，其中通过设置于所述排气线路中的所述原料回收部的后段的去除机构，从而除去所述废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测；以及原料浓度检测步骤，其中通过气体检测器来检测经由所述除去步骤而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体的原料浓度，并且当检测出的原料浓度超过预定值时发出警告。[专利技术的效果]根据上述专利技术所涉及的排气装置及排气方法，能够在有效地从由反应容器排出的废气中回收硅氧烷的同时准确地检测残留在废气中的硅氧烷的浓度。附图简要说明[图1]是根据本专利技术实施方式的排气装置的示意性结构图。[符号说明]1：排气系统10：原料回收部11：L形管11a：开口部12：有底圆筒形管13：吸附剂14：冷却机构20：去除机构21：吸管21a：吸入口22：玻璃微粒回收箱22a：玻璃微粒回收结构22b：水分吸附剂23(23a、23b)：多级过滤器24：流量计25：输出管25a：输出口30：气体检测器40：恒温槽100：反应容器101：排出口150：排气管200：废气处理装置G：玻璃微粒沉积体具体实施方式(本专利技术的实施方式的说明)首先，列出本专利技术的实施方式来进行说明。根据本专利技术的一个方面的排气装置，(1)一种排气装置，其经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体的反应容器中排出至废气处理装置，具有：原料回收部，其设置于所述排气线路中，并且回收所述废气中所含的所述原料；去除机构，其设置于所述排气线路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测；以及气体检测器，其利用经由所述去除机构而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体来检测原料浓度。根据上述构成，通过设置在排气线路中的原料回收部，从而可以有效地回收作为玻璃微粒沉积体的原料的硅氧烷。另外，通过利用去除机构来除去废气中所含的玻璃微粒和水分，从而可以制成适合于硅氧烷浓度检测的气体。通过利用气体检测器来测定该浓度检测用气体的硅氧烷浓度，从而可以准确地检测出残留在废气中的硅氧烷浓度。由此，可以准确地检测出废气中的硅氧烷浓度是否达到爆炸极限浓度的基准值以上。若硅氧烷的浓度为爆炸极限浓度的基准值以上，则可以进行停止原料气体的供给等措施。因此，可以防止硅氧烷在废气处理装置内起火。(2)所述去除机构可以具有：玻璃微粒回收箱，其内部设置有玻璃微粒回收结构并且配置有水分吸附剂；多级过滤器，其设置在所述玻璃微粒回收箱的后段；以及流量计，其设置在所述多级过滤器的后段，并且用于确认所述浓度检测用气体的流量。根据上述构成，由于玻璃微粒回收结构设置在玻璃微粒回收箱的内部，因而可以在路径途中除去玻璃微粒，此外还可以通过多级过滤器来更精确地过滤并除去玻璃微粒。另外，可以利用水分吸附剂来除去水分。而且，通过流量计确认浓度检测用气体的流量，从而可以将适量的浓度检测用气体输送至气体检测器。(3)具有恒温槽，所述多级过滤器、所述流量计以及所述气体检测器可以设置在所述恒温槽内。根据上述构成，由于将多级过滤器、流量计以及气体检测器设置在恒温槽内，因而可以防止浓度检测用气体的结露。因此，可以防止由结露所造成的气体检测器的检测性能的劣化。(4)所述原料回收部可以具有：L形管，其被配置为使得前端的开口部朝下；有底圆筒形管，其被设置成覆盖所述L形管的开口部，其底部封闭并且上部连通至所述废气处理装置；吸附剂，其配置于所述有底圆筒形管的底部；以及冷却机构，其对所述有底圆筒形管的底部进行冷却。根据上述构成，由于L形管的前端的开口部被配置为朝下，因而将通过了L形管的废气吹至有底圆筒形管的底部以使其接触到配置于底部的吸附剂。另外，通过对底部进行冷却的冷却机构，从而使废气中所含的硅氧烷液化并容易被吸附剂吸附。另外，根据本专利技术的一个方面的排气方法，(5)一种排气方法，其经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体的反应容器中排出至废气处理装置，包括：原料回收步骤，其中通过设置于所述排气线路的原料回收部，从而回收所述废气中所含的所述原料；除去步骤，其中通过设置于所述排气线路中的所述原料回收部的后段的去除机构，从而除去所述废气中所含的玻璃微粒和水分以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种排气装置，其经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体的反应容器中排出至废气处理装置，具有：/n原料回收部，其设置于所述排气线路中，并且回收所述废气中所含的所述原料；/n去除机构，其设置于所述排气线路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测；以及/n气体检测器，其利用经由所述去除机构而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体来检测原料浓度。/n

【技术特征摘要】
20181204 JP 2018-2271141.一种排气装置，其经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体的反应容器中排出至废气处理装置，具有：
原料回收部，其设置于所述排气线路中，并且回收所述废气中所含的所述原料；
去除机构，其设置于所述排气线路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测；以及
气体检测器，其利用经由所述去除机构而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体来检测原料浓度。


2.根据权利要求1所述的排气装置，
所述去除机构具有：
玻璃微粒回收箱，其内部设置有玻璃微粒回收结构、并且配置有水分吸附剂；
多级过滤器，其设置在所述玻璃微粒回收箱的后段；以及
流量计，其设置在所述多级过滤器的后段，并且用于确认所述浓度检测用气体的流量。


3.根据权利要求2所述的排气装置，其具有恒温槽，
所述多级过滤器、所述流量计以...

【专利技术属性】
技术研发人员：守屋知巳，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP