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包括低热预算栅极堆叠体的pMOS晶体管制造技术
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下载包括低热预算栅极堆叠体的pMOS晶体管的技术资料
文档序号:24463808
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p通道金属氧化物半导体(pMOS)晶体管包括栅极堆叠体,所述栅极堆叠体包括:基材上的含有硅氧化物的介电中间层,其中,介电中间层的厚度小于1nm;介电常数高于介电中间层的高k介电层;在介电中间层和高k介电层之间并且与介电中间层直接接触的第一偶...
该专利属于IMEC非营利协会所有,仅供学习研究参考,未经过IMEC非营利协会授权不得商用。
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