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垂直存储器件制造技术
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文档序号:24463595
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提供了一种垂直存储器件,所述垂直存储器件包括:沟道连接图案,所述沟道连接图案位于衬底上;栅电极,所述栅电极在所述沟道连接图案上沿第一方向彼此间隔开;以及沟道,所述沟道沿所述第一方向延伸穿过所述栅电极和所述沟道连接图案。每个所述栅电极沿基本上...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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